俄歇电子能谱仪仪器结构
俄歇电子能谱仪就是利用俄歇电子能谱法进行分析研究的仪器。包括以下几个主要部分:分析室、样品台、电子枪、溅射离子枪、电子能量分析器、电子倍增器、信号处理与记录系统等。
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旋转样品台使样品到位,首先用离子枪对样品表面进行清洗,清除杂质,然后用电子枪轰击,轰击产生的多种电子经过能量分析器的选择后,只有俄歇电子才被电子倍增器接受,经过电脑计算,最终反应到显示屏中的电子能谱图上。
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电子能量分析器是电子能谱仪的中心部分。由于用电子束照射固体时,将产生大量的二次电子和背散射电子,它们的存在使俄歇电子很难被检测出来,因此需要使用某种特殊的能量分析器来去除那些电子的干扰。目前的俄歇谱仪大多采用圆筒镜分析器作为俄歇电子检测装置。
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筒镜分析器是由两个同轴的圆筒形电极构成的静电反射系统。内筒上开由环状的电子入口狭缝和出口狭缝,在两筒之间加一定的电压。从样品中激发的电子以一定角度从入口狭缝进入内筒和外筒之间的区域,调节两筒之间的电压,使能量满足一定条件的俄歇电子才能通过出口狭缝,而能量不满足条件的带电粒子只会被内外筒吸收。
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连续的改变内外筒间的电压,不同能量的俄歇电子的多少就可以依次得到检测,最终得到电子数目随电子能量的分布曲线。转速计| 水份计| 水份仪| 分析仪| 溶氧计| 电导度计| PH计| 酸碱计| 糖度计| 盐度计| 酸碱度计| 电导计| 水分测定仪
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